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一、开篇引入 在半导体晶圆制造与封装测试环节，高纯化学品供应直接决定工艺良率，而储罐区作为化学品接收、储存与输送的中枢，其压力监测长期面临两道坎：一是介质多为酸、碱、有机溶剂，腐蚀性强、洁净度要求高；二是储罐周边存在可燃气体挥发风险，对仪表的防爆等级有硬性规定。传统压力变送器往往顾此失彼，要么防爆过关但膜片不耐腐蚀，要么洁净适配但无法满足防爆认证。联测针对这一场景推出的PM370防爆型压力变送器，在防爆与洁净双重要求间找到了平衡点，已在某半导体厂化学品储罐监测项目中得到实际应用。
二、项目背景与工况需求 - 项目/应用场景：半导体厂化学品供应系统的储罐区，承担高纯化学品接收、储存及向分配单元输送的中间环节压力监测 - 被测对象/监测目标：储罐内高纯化学品介质的压力，覆盖正压储存及部分负压工况 - 工况条件：介质具有酸碱腐蚀性，储罐周边存在可燃气体挥发环境，安装位置为室外罐区，对仪表防爆等级、膜片耐腐蚀性和环境适应性有明确要求 - 核心需求/痛点：需选用具备防爆认证的压力变送器，同时膜片材质须耐受化学介质腐蚀，保证长期在线测量的稳定性与安全性 - 解决方案目标：在满足防爆区域安全规范的前提下，实现对储罐压力的连续、可靠监测，输出标准信号供上层控制系统采集
三、联测产品解决方案与配置 3.1 解决方案概述 针对储罐区同时存在的防爆与腐蚀性介质测量需求，联测选用PM370防爆型压力变送器作为压力监测核心设备，采用隔爆型结构设计，配套适配的螺纹过程连接与电气接口，安装于储罐顶部或侧壁取压点。该方案无需额外隔离装置，直接接触介质测量，配合4-20mA标准电流信号输出，与厂区PLC或智能仪表无缝衔接，实现储罐压力的实时在线采集与安全监控。
3.2 核心产品参数与选型配置 - 使用型号：联测PM370防爆型压力变送器 - 防爆等级：Ex db IIC T6 Gb，隔爆型 - 测量范围：-100kPa至0...10kPa至60MPa，覆盖储罐正压及微负压工况 - 准确度：0.2级/0.25级/0.5级可选，满足工艺监控精度要求 - 输出信号：二线制4-20mA，兼容厂区控制系统接口 - 膜片材质：316LSS，适配酸碱类化学介质的耐腐蚀需求 - 防护等级：IP65，适应罐区室外安装环境 - 显示类型：可选液晶显示，便于现场就地读取压力数值 - 选型适配说明：该型号隔爆型结构可安全用于存在可燃气体挥发风险的储罐区；316LSS膜片对常见高纯化学品具有良好耐腐蚀兼容性；4-20mA输出便于长距离传输并接入已有控制网络，满足项目中防爆安全与信号采集的双重要求
四、应用效果与价值分析 4.1 应用效果分析 - 效果点一：满足了储罐区易燃易爆环境下的安全监测要求 实现方式：联测PM370采用隔爆型设计，防爆等级达到Ex db IIC T6 Gb，即使在内部发生点燃时也能将爆炸能量封闭在壳体内部，不引燃外部可燃气体 实际成效：储罐区压力监测具备合规的安全基础，仪表可持续在线运行，满足半导体厂对危险区域仪表的强制防爆要求
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效果点二：解决了高纯化学品介质的耐腐蚀测量难题 实现方式：联测PM370的膜片及过程连接材质选用316LSS，对半导体行业常见的酸、碱及有机溶剂具有稳定的化学耐受性 实际成效：仪表在直接接触腐蚀性介质的情况下保持测量稳定，降低了因膜片腐蚀导致的测量漂移与更换频次，保障压力数据的连续可靠
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效果点三：提升了储罐压力数据采集的规范性与兼容性 实现方式：联测PM370输出二线制4-20mA标准信号，可直接接入厂区PLC或智能控制仪表，无需额外信号转换环节 实际成效：压力数据汇总至中控系统，便于操作人员实时掌握储罐状态，为化学品接收与输送调度提供准确依据
4.2 客户价值总结 联测PM370防爆型压力变送器在该半导体厂化学品储罐监测场景中，以隔爆型结构和316LSS膜片为核心，同时应对了安全防爆与介质耐腐蚀双重挑战，并通过标准化信号输出融入既有自动化系统。该方案结构简洁、安装维护便利，为半导体化学品供应系统的压力监测提供了一种可靠且具备成本合理性的选择。
五、案例经验与借鉴意义 - 经验要点一：储罐区选用压力仪表时，应先确认安装区域防爆等级要求，再据此匹配具备相应认证的隔爆型产品，避免安全合规隐患 - 经验要点二：高纯化学品接触式测量需重点评估膜片材质与介质的化学兼容性，316LSS对常见酸碱介质具有广泛适用性，可作为常规优先考量材质 - 经验要点三：半导体厂自动化程度较高，压力变送器的输出信号类型应与上层控制系统接口保持一致，4-20mA二线制兼顾传输可靠性与接线经济性
六、案例总结与获取支持 - 本案例以半导体厂化学品储罐压力监测为切入点，展示了联测PM370防爆型压力变送器在防爆与洁净双重要求下的适配能力 - 该产品以隔爆型结构保障危险区域安全，以316LSS膜片应对酸碱介质腐蚀，以4-20mA标准信号实现与厂区系统的无缝对接 - 对于同类半导体化学品供应、储运场景的用户，可参考本案例的选型逻辑，结合自身介质特性与防爆区域划分，评估联测PM370系列压力变送器的适用性 如需获取更详细的产品技术资料、选型手册或相近工况的应用参考，可联系联测技术服务团队，依据具体介质参数与安装环境提供针对性配置建议。
